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陶瓷靶材使用须知

陶瓷靶材使用须知
DM公司采用高纯化合物粉末为原料,通过常压烧结法、真空热压法以及热等静压法等工艺成型,经过精密机械加工而成,靶材晶粒度小、纯度高、致密度高。
陶瓷类靶材本身质脆且导热性差。建议绑定铜背靶!背靶材料是具有良好的导电性和导热性的无氧铜,一般选择2-3mm厚度,采用金属铟进行焊接绑定。
使用注意事项:
1、靶材清洁:清洗建议用“无绒布”进行清洁,再用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。
2、靶材安装:一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果冷却壁的翘曲程度严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发最终会造成靶材开裂或脱靶。
3、靶材预溅射:
A:靶材应该经历一个(功率)缓慢增加的过程,陶瓷靶材的功率逐渐加大。在进行预溅射的同时检查靶材起辉情况,如没有起辉现象,继续提升溅射功率到设定功率。
B:沉积之后,功率应同样的缓慢下降,使靶材缓慢冷却。突然切断电源和冷却水会导致靶材在温度骤变中开裂。
C:另注意确保冷却水的循环系统能有效工作,通过冷却水的快速循环带走热量,确保冷却水出口的水温低于35摄氏度,
D: 连续溅射时间不宜太长,且使用后的靶材务必真空干燥储存,防止靶材潮解粉化、影响正常使用。
因操作不当造成的靶材碎裂,责任自负。
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